10月23日，2023年度上海市科学时候奖励大会在上海展览中心举行，开阔犒赏为国度、为上海科技功绩和当代化确立作出杰出孝顺的科技责任者。万业企业（600641.SH）旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称“凯世通”）相接要点哄骗企业共同完成的“离子注入机时候与哄骗产业化”阵势荣获上海市科技进步奖一等奖。凯世通副总司理、首席时候官夏世伟先生算作阵势第一完成东说念主出席大会并登台领奖。

上海市科学时候奖由上海市东说念主民政府谐和树立，是上海市深切践诺科教兴国战术、东说念主才强国战术、翻新运转发展战术，做事高水平科技自立自立，加大对科学规则的第一发现者、时候发明的第一创造者、翻新产业的第一开拓者、翻新理念的第一推行者的奖励。

凯世通秉执自主翻新的研发理念，死力于杀青离子注入机重要时候自主可控。这次获奖阵势所研发的狡黠大束流离子注入机系列征战是制造逻辑芯片、DRAM存储芯片、功率器件、CIS芯片的中枢征战，征战性能与踏实性阐述不凡，杀青了集成电路首要装备产业化冲破。

针对离子注入本色分娩经由中亟需冲破的重要工程时候问题，凯世通翻新构建了包括基础商议和哄骗时候在内的“通用平台+重要时候模块+系统集成+哄骗时候”竣工时候体系，形成了一系列高价值的自主常识产权后果，包括奏凯料理了芯片制造中狡黠量要求下的超大剂量注入问题，镌汰了制变资本；完成了颗粒稠浊起源扬弃时候，大幅提高了良率，获取蹙迫工艺冲破等。现在凯世通已打造出多款离子注入机标杆阵势，在国内主流12英寸晶圆厂杀青了产业化并收货了批量换取订单。跟着产业化进度加速，凯世通执续普及产能，增强做事客户能力。

东说念主才是引颈发展的第一资源，翻新是激动科技进步的不休能源。凯世通打造了一支本事深通、敢于翻新的时候研发团队，袭取“最初一步”的研发策略，连续攻坚克难，激动时候翻新与家具迭代。夏世伟暗意，这次获奖是凯世通研发团队缺乏付出、执续拼搏的落幕，凯世通坚执正向瞎想、翻新冲破，细致蛊卦寰宇前沿科技与产业需求，执续翻新激动离子注入机原创性、引颈性科技攻关，连续强化时候上风，执续为客户提供性能不凡、踏实可靠、降本增效的先进征战和工艺料理有策画，努力做事国度集成电路产业高质地发展。

志存高远、坚执不懈！面向明天，凯世通将陆续秉执锐意杰出、勇攀登峰的杰出心，狂放栽植发展新质分娩力，执续深化时候翻新与产业升级，助力上海科技翻新中心确立，连续为杀青高水平科技自立自立作念出更大孝顺。